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維修服務Chiller 機台維修/買賣
我們專業提供各大品牌Chiller維修、保養與買賣服務，包含 AMAT、SMC、 DAIKIN、NESLAB、TEL 等廠牌，累積多年半導體產業維修經驗，快速診斷問題，維修成功率高，提供備品替代，縮短機台停機時間。
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主設備E-beam 檢測設備
TORAY NGR3500 系列為次世代E-beam 檢測設備，專為高階半導體製程節點（5nm / 3nm / 以下） 所開發，具備高解析度、高靈敏度與高速掃描能力，可有效檢測出光刻、蝕刻與沉積後之微小缺陷，提升製程品質控制能力。
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附屬設備Extreme Efficiency Chiller 晶片式恆溫系統
晶片式恆溫系統（Extreme Efficiency Chiller, EEC）專為半導體設備與精密製程設計，採用模組化設計與高效率控溫機制，可快速達成溫控目標，穩定性佳，能有效降低製程變異並提升產品良率。
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零件與耗材Retainer Ring
Retaining Ring 是應用於 CMP（化學機械研磨，Chemical Mechanical Planarization）設備中，安裝於 Wafer Carrier（晶圓載台） 外圍的關鍵零件。
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零件與耗材
Sapphire 藍寶石製品
高純淨度藍寶石材料(Sapphire; Al2O3)是半導體，LED，IC封裝，TFT，等高科技產業嚴苛環境要求下最理想的高硬度材料。本公司以先進之KY工法提供客戶精密加工，單晶製作，且具成本效益之藍寶石產品，是客戶最佳之選擇。
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零件與耗材Synthetic Polycrystalline Quartz 合成石英
人工製造的石英材料，廣泛應用於半導體製程、光學元件、化學設備等高端領域，是一種保護裝置、無汙染、高純度石英材質用於乾蝕刻機晶圓卡盤（Wafer E-Chuck）防護。
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