產品用途與應用
本產品為專為半導體乾式蝕刻機（Dry Etcher）所設計之晶圓卡盤保護用石英元件。其採用**高純度合成多晶石英（Synthetic Polycrystalline Quartz）**製成，能有效阻擋電漿蝕刻過程中高速離子的撞擊，防止昂貴的 E-Chuck（Electrostatic Chuck） 直接受損。同時，本產品具備極低的微粒產生量與優異的化學穩定性，不會對反應室造成微塵污染，是維持製程潔淨度與穩定性的關鍵元件之一。
Synthetic Polycrystalline Quartz（合成多晶石英） 是一種人工製造的石英材料，由許多微小的石英晶體（晶粒）聚合而成。它與天然單晶石英不同，具有均勻結構、優異的熱穩定性與機械強度，廣泛應用於半導體製程、光學元件、化學設備等高端領域。
- 高純度：雜質極低，純度可達 99.999%（5N），適用於半導體與光電產業的關鍵製程
- 等向性結構：多晶結構降低熱應力、提升抗裂性，適合高溫/熱變化環境
- 低熱膨脹係數：具優良尺寸穩定性，適用於精密製程
- 耐化學腐蝕性佳：能抵抗強酸與等離子體環境
產品特點與優勢
- 高純度材料：採用高純度人工合成多晶石英製造，無金屬污染
- 優異抗電漿能力：可有效抵抗電漿中高能離子的轟擊
- 高熱穩定性：適用於高溫蝕刻環境，熱膨脹率極低
- 低粒子生成：表面光滑且不易產生微粒，有效保護腔體潔淨度
- 機械強度高：適合長時間穩定使用，不易破損
- 易更換：成本效益高，模組化設計便於更換與保養
應用機台與製程類型
- 適用於各式主流乾蝕刻設備
- 相容於 Applied Materials, Lam, TEL, Oxford Instruments 等機台
- 用於半導體蝕刻製程中晶圓下方 E-Chuck 保護用途
產品效益與使用成效
- 顯著延長晶圓卡盤壽命，降低機台維護頻率
- 維持反應室內的超高潔淨度與製程穩定性
- 降低由離子撞擊造成的金屬汙染或機構損耗
- 減少產線異常與良率損失風險
推薦使用於
- 高良率需求之晶片製程
- 高階製程節點（5nm/3nm）之關鍵蝕刻區段
- 對機台穩定性要求極高之 IDMs / Foundries
品牌介紹
BC&C是一家位於韓國京畿道廣州市的上市製造企業，成立於2003年，專注於半導體設備零部件的生產與供應。公司主要產品包括矽電極、矽環、刻蝕設備用噴淋頭等，這些零件廣泛應用於晶圓製造的刻蝕工藝中，對於提升製程精度與設備穩定性具有關鍵作用。
根據市場研究報告，BC&C 在全球矽電極與矽環市場中佔有一席之地，特別是在 12 英寸矽環的生產方面具有競爭力。韓國是全球最大的矽環生產地，佔有約 29% 的市場份額，BC&C 作為當地的主要供應商之一，為全球半導體製造商提供高品質的零部件。
此外，BC&C 也積極拓展國際市場，透過與多家半導體設備製造商的合作，提升其產品在全球市場的知名度與市佔率。
BCnC韓國Edge Ring, Tube…etc.廣泛用於Lam, TEL, AMAT, Hitachi, Mattson…etc. 機台上。
| 廠牌 | 型號 |
|---|---|
| BCnC韓國 | OFK-073 Lam Metal-M Top ring(3pcs), SPQ |
| OFK-074 Lam Metal-M Bottom ring(3pcs), SPQ |
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| OFK-075 SE ring of Lam Metal-M, SPQ |
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| OFK-078 Lam Corvus R Top edge ring (3pcs), SPQ 15° |
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| OFK-079 Lam Corvus R Bottom ring (3pcs), SPQ |
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| OFK-080 SE ring of Corvus R,SPQ (3pcs) |