主要產品與服務
- 微型與大型精密光學元件
- 藍寶石視窗、晶圓與平板
- 藍寶石管、棒、球體與特殊形狀
- 高壓、真空與觀察專用藍寶石視窗
本公司藍寶石材料之特性
- 硬度高,防刮防腐蝕
- 透過結晶排列製程之技術可達光學等級之光傳要求 (包括UV,可見光, 及紅外線…等)
- 耐高溫與高壓
- 穩定的高介電常數的電器絕緣材質可製作各式各樣之形狀與架構
藍寶石材料之應用
- HPD CVD
- PECVD
- Dry Etch
- Wet Etch
藍寶石材料之成品
- Plasma containment tubes
- >330mm large components
- Viewports
- End effectors
- Lift pins
- Edgerings
- Showerheads
博非優勢與加工能力:
- 可視客戶需求精密拋光
- 交期穩定
- 可針對不同應用提供鍍膜、防反射等處理
應用領域:
- 半導體製程元件
- 高功率雷射與紅外光學系統
- LED製造設備
- 真空腔體視窗



