主要特點 :
高解析電子束技術，最小缺陷偵測能力可達 1nm。大範圍快速掃描功能。支援Inline 檢測需求。
AI 缺陷分類系統，提升缺陷判讀效率。支援自動化操作與SECS/GEM 通訊。
應用領域 :
晶圓缺陷檢測與分析。晶圓製程異常監控。
光罩與圖形轉寫品質控管。
先進製程(如EUV、3D IC等)良率分析。
TORAY 日商東麗：
東麗工程股份有限公司成立於 1960年，最初為東麗株式會社建造工廠並維護生產設備。
作為東麗集團旗下公司之一，東麗工程擁有 11 家在日本及海外的子公司，現今主要從事三大業務領域：工程、電子，以及環境與能源。
Established in 1960, Toray Engineering started out building plants and maintaining production equipment for Toray Industries. A Toray Group company with eleven subsidiary companies in Japan and overseas, Toray Engineering currently engages in three businesses—Engineering, Electronics, and Environment C Energy.