TORAY NGR3500 系列為次世代E-beam 檢測設備，專為高階半導體製程節點（5nm / 3nm / 以下） 所開發，具備高解析度、高靈敏度與高速掃描能力，可有效檢測出光刻、蝕刻與沉積後之微小缺陷，提升製程品質控制能力。
OLYMPUS – AL3100/3300
日本知名光學檢測機台，擁有豐富的技術開發及售後服務，提供您尖端晶圓檢測需求。
主設備