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主設備
E-beam 檢測設備
TORAY NGR3500 系列為次世代E-beam 檢測設備,專為高階半導體製程節點(5nm / 3nm / 以下) 所開發,具備高解析度、高靈敏度與高速掃描能力,可有效檢測出光刻、蝕刻與沉積後之微小缺陷,提升製程品質控制能力。
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零件與耗材
Retainer Ring
Retaining Ring 是應用於 CMP(化學機械研磨,Chemical Mechanical Planarization)設備中,安裝於 Wafer Carrier(晶圓載台) 外圍的關鍵零件。
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零件與耗材
Sapphire 藍寶石製品
高純淨度藍寶石材料(Sapphire; Al2O3)是半導體,LED,IC封裝,TFT,等高科技產業嚴苛環境要求下最理想的高硬度材料。本公司以先進之KY工法提供客戶精密加工,單晶製作,且具成本效益之藍寶石產品,是客戶最佳之選擇。
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零件與耗材
Synthetic Polycrystalline Quartz 合成石英
人工製造的石英材料,廣泛應用於半導體製程、光學元件、化學設備等高端領域,是一種保護裝置、無汙染、高純度石英材質用於乾蝕刻機晶圓卡盤(Wafer E-Chuck)防護。






