Extreme Efficiency Chiller 晶片式恆溫系統

主要特點 :

高控溫精度±0.01℃，支援低溫至高溫多段控制。採用制冷晶片模組，將傳統冷凍系統模組化，提供環保及節能效益。 Communication & Control Box (Device Net 、RS-232/485、Ethernet)。模組化設計，維護簡易、擴充性高；可依客戶需求客製。於多種應用: 雷射設備、半導體製程設備等。

適用領域 :

• 半導體製程設備(ETC,LIT,CVD,PVD,DIF,等)。
• 精密光學與雷射系統。
• 工業設備熱源冷卻與熱穩定系統。