蓝宝石材料

高纯净度蓝宝石材料(Sapphire; Al2O3)是半导体，LED，IC封装，TFT，等高科技产业严苛环境要求下最理想的高硬度材料。本公司以先进之KY工法提供客户精密加工，单晶制作，且具成本效益之蓝宝石产品，是客户最佳之选择。

本公司蓝宝石材料之特性

• 硬度高，防刮防腐蚀。
• 透过结晶排列制程之技术可达光学等级之光传要求 (包括UV， 可见光， 及红外线…等)
• 优异之耐化学特性 (包括Halogens， HCI plasmas， Fluorine plasma NF3， CF4 …)
• 耐高温与高压
• 稳定的高介电常数的电器绝缘材质
• 可制作各式各样之形状与架构

蓝宝石材料之应用

• HPD CVD
• PECVD
• Dry Etch
• Wet Etch

蓝宝石材料之成品

• Plasma containment tubes
• >330mm large components
• Viewports
• End effectors
• Lift pins
• Edge rings
• Showerheads
• E-chucks