Sapphire 蓝宝石材料
 

蓝宝石材料

高纯净度蓝宝石材料(Sapphire; Al2O3)是半导体,LEDIC封装,TFT,等高科技产业严苛环境要求下最理想的高硬度材料。本公司以先进之KY工法提供客户精密加工,单晶制作,且具成本效益之蓝宝石产品,是客户最佳之选择。

 

本公司蓝宝石材料之特性

  • 硬度高,防刮防腐蚀。
  • 透过结晶排列制程之技术可达光学等级之光传要求 (包括UV 可见光, 及红外线)
  • 优异之耐化学特性 (包括Halogens HCI plasmas Fluorine plasma NF3 CF4 …)
  • 耐高温与高压
  • 稳定的高介电常数的电器绝缘材质
  • 可制作各式各样之形状与架构

 

蓝宝石材料之应用

  • HPD CVD
  • PECVD
  • Dry Etch
  • Wet Etch

 

蓝宝石材料之成品

  • Plasma containment tubes
  • >330mm large components
  • Viewports
  • End effectors
  • Lift pins
  • Edge rings
  • Showerheads
  • E-chucks


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